一個是在高能電子的瞬時高能量作用下,打開某些有害氣體分子的化學鍵,使其直接分解成單質原子或無害分子;

    另一個是在大量高能電子、離子、激發態粒子和氧自由基、氫氧自由基(自由基因帶有不成對電子而只有很強的活性)等作用下的氧化分解成無害產物，主要有下面幾個過程:

    (1)在高能電子作用下,強氧化性自由基O、OH、HO2的產生;

    (2)有機物分子受到高能電子碰撞被激發,及原子鍵斷裂形成小碎片基團和原子;

    (3)O、OH、HO2:與激發原子、有機物分子、破碎的基團、其他自由基等發生一系列反應,有機物分子zui終被氧化降解為CO、CO2、H2O。去除率的高低與電子能量和有機物分子結合鍵能的大小有非平衡等離子體的產生非平衡等離子體的產生方法有多種,如輝光放電、電暈法、流光放電法、沿面放電法等,其中應用的方法是無聲放電或稱介質阻擋放電方法。